Natural Photos
デジタル一眼レフ写真を載せています. コンデジとは違った世界をどうぞ.by Nikon D300&D40.

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関西在住の学生です。 デジイチデビューからはや半年。 いろいろ勉強中です☆ 駄目だしとか感想とかコメントしてくれたらうれしいです☆

がっくん0224

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SiC成膜

膜厚の異なるAl2O3膜が300度の原子層化学蒸着法,1000度を超えるアルゴンアニールによって4H-SiCのエピタキシャル基板上に成膜した.そのAl2O3/4H-SiCの構造をXPS,SIMS,TEMにより解析を行った.XPSとSIMSの解析結果からアニールによる大きな構造変化は広いエリアにて見られなかった.しかし,TEMによる解析ではアニールなしの界面は2つあり,SiOx層(x<2)が存在していることがわかった.その後アニールを加えることにより,界面の粗さ情報,Al2O3膜中のSi原子の密度の高さから,そのSiOx膜は分解され,SiO2膜に移ったことがわかった.また,Hの明らかな蓄積は界面には見られず,これはアニール処理を行ったAl2O3/4H-SiC構造の浅い電子状態の低密度を担うキーである可能性がある.
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